FZ 硅应用
不仅杂质,而且机械的、结晶的材料性能也能够调整并加强,从而获得适用于区熔(FZ)工艺的产品,这是多晶硅制造的最终要求。

通过在我们工厂的优化和开发方面的不断努力,使得能够生产高质量的用于FZ工艺的多晶硅。我们能够确定影响变量并控制质量参数,以达到FZ棒的目标规格。
通过西门子工艺生产的FZ硅进料

FZ质量控制杂质:
生产FZ棒的主要挑战:
- 几何尺寸、棒结构、表面形态
- FZ 产能
- 低应力硅
- FZ 产能
- 纯度(掺杂、金属、非金属、颗粒)
- FZ 结晶收率
- 超低水平掺杂
- 超低水平过渡金属
- 低水平碳含量
- 不允许有颗粒
- 金属和非金属的控制
- 硅颗粒形状的控制
