FZ 硅应用

不仅杂质，而且机械的、结晶的材料性能也能够调整并加强，从而获得适用于区熔（FZ）工艺的产品，这是多晶硅制造的最终要求。

通过在我们工厂的优化和开发方面的不断努力，使得能够生产高质量的用于FZ工艺的多晶硅。我们能够确定影响变量并控制质量参数，以达到FZ棒的目标规格。

通过西门子工艺生产的FZ硅进料

FZ质量控制杂质：

生产FZ棒的主要挑战：

• 几何尺寸、棒结构、表面形态
  • FZ 产能
• 低应力硅
  • FZ 产能
• 纯度（掺杂、金属、非金属、颗粒）
  • FZ 结晶收率

• 超低水平掺杂
• 超低水平过渡金属
• 低水平碳含量
• 不允许有颗粒
  • 金属和非金属的控制
  • 硅颗粒形状的控制