氯硅烷例如六氯乙硅烷（HCDS）

HCDS作为CVD工艺的先驱产品，在各种应用中发挥着重要作用。氯硅烷的应用从单晶硅和多晶硅的沉积到介质千变万化。我们的研发工作致力于分离和转化单体和低聚氯硅烷。

在有价值的低聚氯硅烷中，有一种是六氯乙硅烷，它是硅生产的副产品。这种专有工艺（专利申请中）允许通过低成本来分离高纯度六氯乙硅烷。

我们在质量方面过程的不断开发，使得我们能够生产出纯度 >> 95％的、痕量杂质 << 1 ppma不同质量的六氯乙硅烷。正在进行进一步的研究，以获得更高纯度的六氯乙硅烷。

除了从氯硅烷中分离HCDS，我们公司对其处理也非常了解。众所周知，氯硅烷的水解产物可能是危险的，因为它们倾向于形成爆炸性固体。基于理论基础和我们的长期生产经验，我们能够在生产环境中稳定这些爆炸物。